离线全自动硅片插片机

    无锡创生源自动化依托本公司雄厚的技术力量, 自主研制了AWHL系列离线全自动硅片插片机, 通过伯努利吸盘将堆叠承载盒中硅片吸取至传输轨道, 然后流入对应的花篮中。该设备可用于常规单晶槽式制绒及槽式黑硅工艺主设备,兼容单槽单片及单槽双片!多轨道设计, 每条轨道独立运行, 互不干涉,从而实现产能最大化!

设备名称: 离线全自动硅片插片机

设备型号:AWHL-T25 / AWHL-T50 / AWHL-T100 / AWHL-T120

设备用途:将堆叠片盒中硅片自动插入花篮中.

技术特点

----可应用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----堆叠硅片至25、50、100、120片花篮可选.

----多轨道传输设计,独立运行,互不干涉.

----可匹配常规单晶槽式制绒以及黑硅工艺主设备.

----可兼容单槽单片、单槽双片功能, 切换便捷。

----标配超声波双片检测功能.

----标配每条轨道缓存单元

----每条轨道标配3个硅片堆叠承载盒及3个伯努利吸盘.

----采用PLC控制,吸片/ 插片过程全自动;触摸屏菜单操作,简洁明了.

----可选碎片检测功能、几何尺寸AOI检测。

----可选支持MES接口和远程诊断功能

----可选匹配智能工厂AGV接驳口.

----产能:Max.10000Pcs/h